类金刚石薄膜也俗称DHL薄膜。类金刚石薄膜是一种与金刚石性质相似、硬度高、电阻率高、光学性能好的非晶碳膜。并有其独特的摩擦学特性。类金刚石薄膜兼具金刚石和石墨的优异性能。它们是亚稳态和长程无序无定形材料。碳原子之间的键合方式是共价键,主要包括sp2和sp3杂化键。然而,在含氢类金刚石薄膜中仍然存在一定数量的碳氢键。
类金刚石薄膜的基本成分是碳。由于碳的来源和制备方法的不同,类金刚石薄膜可以分为两类:含氢和不含氢。类金刚石碳膜是一种具有长程无序的亚稳态非晶材料。碳原子之间的键是共价键,主要包括sp2和sp3杂化键。含氢类金刚石碳膜中也有一定数量的碳氢键。
类金刚石薄膜作为一种新型的硬质薄膜材料,具有一系列优异的性能,如高硬度、高耐磨性、高热导率、高电阻率、良好的光学透明性、化学惰性等。类金刚石薄膜可广泛应用于机械、电子、光学、热学、声学、医学等领域,具有良好的应用前景。
类金刚石薄膜具有高硬度和优异的耐磨性,非常适合用作硬质工具涂层,沉积在轴承、工具等表面,不仅可以延长工具的使用寿命,还可以提高功效。类金刚石碳膜高度掺杂。由于其宽带隙,它有利于在高温条件下使用高度集成的电子器件。
类金刚石薄膜具有良好的化学稳定性和耐腐蚀性(耐酸、耐碱、耐盐)。它不仅可用作光学元件的减反射膜和保护膜,防止光学元件被飞沙划伤或被酸、碱、盐溶液腐蚀,还可应用于光盘保护膜、手表玻璃保护膜、眼镜镜片(玻璃和树脂)保护膜和汽车挡风玻璃保护膜。
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