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类金刚石薄膜的两种分类及构成

类金刚石薄膜(DLC)是一种非晶薄膜,类金刚石薄膜(又称DLC薄膜)可以分为两种:氢化类金刚石碳膜和无氢类金刚石碳膜。


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氢化类金刚石碳膜责可分为类聚合物非晶态碳、类石墨碳及类金刚石碳3种,其三维网络结构中同时还结合一定数量的氢构成;无氢类金刚石碳膜责是由a-C膜和四面体非晶碳构成。http://www.pvdpacvd.com/

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