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类金刚石薄膜涂覆完成后的质量检验及解决方法

  类金刚石薄膜是近来兴起的一种以sp3和sp2键的形式组合而成的亚稳态材料,它兼具钻石和石墨的优良性能,硬度高。电阻率高。涂装完成后,应检查成型工件的膜层质量,若膜层出现问题,则需要进行相应的处理,下面就来了解一下类金刚石薄膜涂覆完成后的质量检验及解决方法有哪些?

  一、检查膜层的均匀性;成型后的膜层光泽不均匀,有图案时,可能是目标材质纯度不足,杂质多会导致膜层不均匀。也可能是涂装设备的故障。

  所以如果检测到膜层有问题,可以先检查设备是否有故障,如果设备稳定正常,则必须更换靶材。

  二、检查类金刚石薄膜层厚度。如果在检查膜层时发现厚度超差,可能是处理时间过长或过短造成的。

  在设备稳定正常的情况下,膜层的厚度取决于成形的工艺时间,因此如果膜层超差,只需调整处理时间即可。


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  三、检查结合力。检查类金刚石薄膜层与工件基体之间的结合力,结合力不强会出现分层现象。造成这一问题的原因很多,如工件清洗不干净,不彻底,工件基体未抛光到工艺要求或有缺陷,成型工艺参数不合理等。

  如果发生这种情况,需要一一排除,找出真正的原因,从而解决基体和膜层分层的问题,有时需要在工件上预先涂一层金属,以消除基体本身的缺陷。

  那么今天的讲解就先到这里了,以上就是今天的全部内容,相信大家对类金刚石薄膜涂覆完成后的质量检验及解决方法也有了一定的认识。非常感谢您的耐心阅读。如还想了解更多关于类金刚石薄膜的相关问题,您可以拨打右上角的服务热线,与我们咨询。


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