-
-
致力于高端涂层技术的研究和推广
致力于高端涂层技术的研究和推广
类金刚石薄膜是由sp3和sp2键组成的亚稳态材料，具有金刚石和石墨的优良特性，硬度高。高电阻率光学性能好，摩擦学特性好。因此今天就来了解一下类金刚石薄膜的涂覆工艺流程都有哪些？
一、工件基体处理。这一步很重要。只有将工件抛光到小于Ra0.2um，涂覆后的工件才能获得满意的表面质量，这对于一些成型后有光学性能要求的零件非常重要，如成型光学镜头和LED零件。操作时要注意基体表面处理不能留下死角，影响膜层能否与基体牢固结合。
二、充分清洗。充分清洗要涂覆的工件，涂覆的母材、质量水平和几何形状决定了清洗过程。工件安装在设定的夹具上，夹具是在优化腔体装载尺寸、保证均匀涂层的基础上设计的。清洁方法是将真空室抽真空到10-6托(高真空)，以消除系统中的任何污染物，将惰性气体引入真空室，使其离子化，产生辉光放电(等离子体)，这是气体清洁阶段，使零件做好金属沉淀准备。
三、金属沉淀。在用于沉淀的固体金属上(指靶材)加载高电流、低电压电弧，金属蒸发，瞬间离子化。在高能的作用下，属离子通过惰性气体或活性气体进入腔体，沉淀在工件上。蒸发的金属在金属沉淀过程中保持不变。在激活沉淀过程中，改变气体的体积或类型会改变膜的性质，形成碳化物、氮化物或氧化物等陶瓷。同样，不同的膜也可以通过改变靶材的材料来产生。
那么今天的讲解就先到这里了，以上就是今天的全部内容，相信大家对类金刚石薄膜涂层的制作工艺流程也有了一定的认识。非常感谢您的耐心阅读。如还想了解更多关于类金刚石薄膜的相关问题，您可以拨打右上角的服务热线，与我们咨询。
类金刚石薄膜是由sp3和sp2键组成的亚稳态材料，具有金刚石和石墨的优良特性，硬度高。高电阻率光学性能好，摩擦学特性好。因此今天就来了解一下类金刚石薄膜的涂覆工艺流程都有哪些？
一、工件基体处理。这一步很重要。只有将工件抛光到小于Ra0.2um，涂覆后的工件才能获得满意的表面质量，这对于一些成型后有光学性能要求的零件非常重要，如成型光学镜头和LED零件。操作时要注意基体表面处理不能留下死角，影响膜层能否与基体牢固结合。
二、充分清洗。充分清洗要涂覆的工件，涂覆的母材、质量水平和几何形状决定了清洗过程。工件安装在设定的夹具上，夹具是在优化腔体装载尺寸、保证均匀涂层的基础上设计的。清洁方法是将真空室抽真空到10-6托(高真空)，以消除系统中的任何污染物，将惰性气体引入真空室，使其离子化，产生辉光放电(等离子体)，这是气体清洁阶段，使零件做好金属沉淀准备。
三、金属沉淀。在用于沉淀的固体金属上(指靶材)加载高电流、低电压电弧，金属蒸发，瞬间离子化。在高能的作用下，属离子通过惰性气体或活性气体进入腔体，沉淀在工件上。蒸发的金属在金属沉淀过程中保持不变。在激活沉淀过程中，改变气体的体积或类型会改变膜的性质，形成碳化物、氮化物或氧化物等陶瓷。同样，不同的膜也可以通过改变靶材的材料来产生。
那么今天的讲解就先到这里了，以上就是今天的全部内容，相信大家对类金刚石薄膜涂层的制作工艺流程也有了一定的认识。非常感谢您的耐心阅读。如还想了解更多关于类金刚石薄膜的相关问题，您可以拨打右上角的服务热线，与我们咨询。