涂层包括有许多不一样的涂层组分和生产工艺
DLC涂层加工的显微结构,事实上,DLC涂层属于一个涂层类型,其包括有许多不一样的涂层组分和生产工艺。
在DLC涂层加工的诸多类型中,有种比较普遍的Me-DLC涂层,一直以来在产业行业有着普遍的使用。
Me-DLC涂层具备很低的内应力,为此,该种涂层具备非常好的涂层结协力。Me-DLC涂层中还可以加进各种元素,如Ti、Nb、Ta和B等,但现阶段最常见的方式是加进钨元素(W),产生W-DLC(还可以是W-C:H或是a-C:H:W)。因为与别的元素对比,W-DLC涂层具备相对较低的摩擦阻力(一般在0.1~0.2,干式),进而具备非常好地抗磨损特性,及其优良的耐转动接触疲惫特性。
DLC类涂层之中最广泛的是根据各种PA-CVD(等离子辅助CVD,通过射频、微波或其他等离子激活方法)制备的含氢类DLC。含氢类DLC涂层具备相对高的显微硬度(通常在2000~3000HV)和非常低的摩擦阻力(0.05~0.15,干式)。根据PA-CVD方法制备的含氢DLC涂层表面粗糙度极低。近期,它们早已变成汽车引擎零部件,如梃杆、活塞杆和各种柴油喷射系统零配件涂层的产业标准。
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