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气相法和沉积法制备类金刚石薄膜(DLC薄膜)的基本原理

气相法制备类金刚石薄膜(DLC薄膜)的原理:

气相法制备类金刚石薄膜(DLC薄膜)是直接利用气体或者通过各种手段将物质转变为气体,使它们在气体状态下发生化学反应或者物理变化,最后在冷却过程中凝聚长大形成纳米粒子的方法,从而使类金刚石薄膜(DLC薄膜)制备成功。

沉积法制备类金刚石薄膜(DLC薄膜)的原理:

沉积法又分为直接沉淀法、共沉淀法和均匀沉淀法等多种方法,其各种方法也类是,都是利用生成沉淀的液相反应来制取类金刚石薄膜(DLC薄膜)。http://www.pvdpacvd.com/

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