一、dlc涂层类金刚石表面涂层技术是应用于切割工具领域的专业技术。dlc涂层的工业化生产始于20世纪末。与模具上应用的硬涂层相比,是一种新颖的涂层技术。在半导体封装、管脚切割和成型制造过程中,高精度模具是确保产品质量的关键。模具表面的质量决定了产品的优良率、生产效率和产品的电气性能等。因此,应用于半导体封装行业的模具不仅要求高精度,还要求模具刃口向表面低摩擦因数和高硬度方向发展,使用等离子体DLC涂装技术的涂装是这个问题的主要解决方案。
二、基本原理。dlc涂层处理使用物理气相沉积技术PVD。在真空条件下(1.3x10-2-1.3x10-4Pa)采用低电压、大电流的弧放电技术,利用气体放电蒸发目标物和蒸发物和气体,利用电场的加速作用,使蒸发物及其反应物沉积在工件上。
三、dlc涂层是微观结构中含有钻石成分的涂层。构成dlc涂层的主要要素是碳,碳原子之间的不同结合方式产生不同的物质:钻石-碳以sp3键的形式结合的石墨一碳以sp2键的形式结合。dlc涂层一碳以sp3和sp2健的形式结合的涂层结构是由碳的sp3和sp2形态混合而成的无定型组织(无显性的结晶结构),涂层性能的好坏取决于形成的膜结构中sp3和sp2各的比例,sp3所占的比例越高,膜性能越接近天然钻石,显微硬度越高,sp2所占的比例越高,膜的自润滑性能越好,摩擦因数越小,但显微硬度越低(与金属之间的摩擦因数范围一般为0.05-O.2)通过设定生产流程中的工艺参数和选择不同的标的,可以控制成型膜层的属性来满足不同场合的需求。
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