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PVD技术简介:
PVD是英文Physical Vapour Depostion的简写,中文物理气相沉积。它是一种生产金属基础的硬质涂层的方法,它借助于生成局部电离金属蒸汽,与特定气体反应,并在基材上形成带有指定成分的薄膜。最常用的方法是溅射和阴极电弧。在溅射中,蒸汽通过有活力的气体离子轰击金属靶材生成。阴极电弧法使用重复真空电弧放电以冲击金属靶材和蒸发材料。所有PVD工艺是在高真空条件下沉积到产品上的。
阴极电弧是PVD领域中功能最多的沉积方式之一。采用电弧蒸发使大面积固态靶材高度蒸发离化,在可控的方式下与通入的反应气体结合,沉积成氮化钛TiN、碳氮化钛TiCN、氮铝化钛AlTiN、氮化铬CrN等不同的膜层。
立仁爱邦PVD工艺用于大量五金、塑料、压铸模具,刀工具和精密部件的涂层。
PVD工作原理:
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